半導体・液晶・HDD製造プロセスでは、クリーンルーム／製造装置により清浄な環境空間、その制御の必要性が高まっております。精密機器部門が提供する高機能ケミカルフィルタ「EPIX」はこれらのニーズに応え、お客様の製品歩留まりの向上に大きく寄与しております。また、FPD、半導体の次世代ウエット洗浄プロセス用に「機能水製造装置」「省エネ型ヘルツフリーポンプ」をラインアツプしています。その他、半導体ウエハ、HDD、ナノテク精密部品用「表面形状測定装置」等を取り扱っております。