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ハードディスク用スパッター装置

ハードディスク用スパッター装置
製造:Intevac, Inc.[米国]

米国Intevac社のハードディスク専用のスパッター装置であり、全世界で60%以上のシェアを誇るマーケットリーダー的装置です。

メーカーサイト  

特長

Inevac社は、垂直磁気メディア用として最初にスパッタ装置を納入した会社です。パテントを有する200Lean装置は、垂直磁気メディア製造用としてすでに多くの実績があります。モジュラー形式により、プロセス変更が容易であり、またプロセスを拡張することが可能です。異なった基板サイズ及び種類への対応しており垂直磁気のような先端プロセスへの対応が可能です。プロセスステーションの数は4から24まで選択することが可能で、設置面積は、競合他社の1/3、スループットは800枚以上です。

適用

ハードディスク関連装置

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