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FPD関連装置・部材

FPDパネル製造に関連した成膜装置や三次元高さ測定装置ほかターゲット等の消耗資材を提案致します。

三次元形状測定機

三次元形状測定機

韓国SNU Precision社の三次元形状測定機は、白色汗渉型の測定機です。段差や突起物の形状・高さなど表面形状を0.1nmの分解能にて測定します。

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ガラスコーター・ウェブコーター

ガラスコーター・ウェブコーター

ラトビアSidrabe社は真空成膜装置のメーカーでユニークなプロセス技術を伴った装置を製造致しております。多肢にわたるアプリケーション装置を提案致します。

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ロータリーカソード・ドライブユニット

ロータリーカソード・ドライブユニット

米国SCI社の優れた操作性・メンテナンス性のロータリーカソードドライブユニットを提案致します。

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スパッタリングターゲット

スパッタリングターゲット

高品質で低価格のプレーナ型・同筒型ターゲット各種を提案致します。

太陽電池用:AZO, GZO, ZnO, Mo, Al, Ag, Cr, Si等
FPD用:ITO, Nb 等
その他:TiOx, Sn, Ti, Zn, ZnAl, SiAl, NiCr等

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薄膜封止装置

薄膜封止装置

韓国SNU社の薄膜封止装置を提案致します。新しいコンセプトを用いた本装置を使用することで、高ガスバリア性が得られ、薄く、フレキシブルなデバイスを製造することが可能となります。

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第5世代向け有機層蒸着装置

第5世代向け有機層蒸着装置

韓国SNU社の第5世代向け有機層及びアルミ電極層の蒸着装置を提案いたします。

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非接触表面抵抗測定器

非接触表面抵抗測定器

独Nagy社の非接触表面抵抗測定器を提案致します。
基板上に成膜された導電膜の抵抗値を非接触、オンラインで測定します。

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原子層堆積装置(ALD装置)

原子層堆積装置(ALD装置)

フィンランドBeneq社の原子堆積装置を提案致します。
3Dを始め、様々な形状の基板に均一でピンホールフリーの耐腐食膜、ガスバリア膜、ゲート酸化膜など機能性薄膜を成膜することができます。

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Laser Vapor Deposition(レーザー気相成膜装置)

Laser Vapor Deposition(レーザー気相成膜装置)

米国AppliFlex社のLVD技術を紹介致します。蒸着では難しい有機材料やポリマーの成膜が可能です。

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複合型アークイオンプレーティング装置

複合型アークイオンプレーティング装置

韓国ISYS社製のスパッタ、HCD、アークイオンの三ソースをひとつのチャンバー内に搭載した複合型イオンプレーティング装置を提案致します。

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ウェットエッチング装置

ウェットエッチング装置

米国Wafab International社の半導体、太陽電池向けのウェットエッチング(テクスチャリング)装置です。全世界で1,000台以上の納入実績があり、R&D向け手動装置から生産ライン用完全自動装置まで、ご要望に応じたフレキシブルな対応が可能です。

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産業用インクジェット装置

産業用インクジェット装置 / "Tri - JET"シリーズ

産業用インクジェットとは、インクジェット技術を産業用分野に応用し、従来の版やマスクを使用したアナログ的方法(スクリーン印刷など)で行っていた印刷やパターニングなどをインクジェット方式で代替してコスト削減や環境負荷低減を実現しようというものです。

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レーザー加工装置

レーザー加工装置

韓国Korea Laser Tech社が製造する各種レーザー加工装置です。OLED、液晶ディスプレイ、モバイル用タッチパネルスクリーンの加工用途で多くの生産装置納入実績がございます。ご要望に応じたフレキシブルな装置提案が可能です。

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フラッシュランプアニーリング装置

フラッシュランプアニーリング装置 / FLA

独DTF社のフラッシュランプアニーリング装置は、コンパクトで使い勝手がよく、各種アプリケーションの研究開発に最適です。

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FPD製造工程洗浄剤

FPD製造工程洗浄剤 / 太陽電池、建築ガラスなど各種産業向け洗浄剤

スイスBorer社のFPD製造工程向け各種洗浄剤は、世界各国の主要メーカーに実績があり、高い評価を得ております。各工程における多品種の洗浄剤を取り揃え最適な洗浄が可能です。FPD業界にて30年以上の経験から必要とされる技術の最適化が成されております。Borer社は、TN、STD、TFT、PDP、OLED等の各種FPDに洗浄剤を提案致します。また、太陽電池製造工程向けや建築ガラスなどの各種産業向け洗浄剤も取り揃えております。

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お問合せ先 情報部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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