太陽電池関連装置・部材

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Si結晶系、薄膜系の太陽電池製造に関連した様々な装置やターゲット材等の消耗資材を提案致します。

真空冶金装置の総合メーカーである独ALD Vacuum Technologies GmbH 社は、ソーラーグレードのシリコンを溶解・再結晶化し、多結晶インゴット状にする装置を製造販売しており、既に数多くの運転実績を有しています。

独Intego社のシリコンブロック検査装置は、多結晶シリコンブロック内のSiN, SiCなどの不純物検査やクラックの検出を行う装置です。同筐体で、ブロックの形状測定機能を追加することも可能です。

ロシアTelecom社のシリコンインゴットのライフタイムテスターは非破壊、非接触測定方式で全世界に多数の納入実績があります。

ラトビアSidrabe社は真空成膜装置のメーカーでユニークなプロセス技術を伴った装置を製造致しております。多肢にわたるアプリケーション装置を提案致します。

独FHR社の太陽電池量産用大面積スパッタ装置を提案いたします。

韓国SNU社の第5世代向け有機層及びアルミ電極層の蒸着装置を提案いたします。

韓国SNU社の薄膜封止装置を提案致します。新しいコンセプトを用いた本装置を使用することで、高ガスバリア性が得られ、薄く、フレキシブルなデバイスを製造することが可能となります。

米国SCI社の優れた操作性・メンテナンス性のロータリーカソードドライブユニットを提案致します。

高品質で低価格のプレーナ型・同筒型ターゲット各種を提案致します。

太陽電池用:AZO, GZO, ZnO, Mo, Al, Ag, Cr, Si等
FPD用:ITO, Nb 等
その他:TiOx, Sn, Ti, Zn, ZnAl, SiAl, NiCr等

フィンランドBeneq社の原子堆積装置を提案致します。
3Dを始め、様々な形状の基板に均一でピンホールフリーの耐腐食膜、ガスバリア膜、ゲート酸化膜など機能性薄膜を成膜することができます。

独Nagy社の非接触表面抵抗測定器を提案致します。
基板上に成膜された導電膜の抵抗値を非接触、オンラインで測定します。

米国Wafab International社の半導体、太陽電池向けのウェットエッチング（テクスチャリング）装置です。全世界で1,000台以上の納入実績があり、R&D向け手動装置から生産ライン用完全自動装置まで、ご要望に応じたフレキシブルな対応が可能です。

産業用インクジェットとは、インクジェット技術を産業用分野に応用し、従来の版やマスクを使用したアナログ的方法（スクリーン印刷など）で行っていた印刷やパターニングなどをインクジェット方式で代替してコスト削減や環境負荷低減を実現しようというものです。

韓国Korea Laser Tech社が製造する各種レーザー加工装置です。OLED、液晶ディスプレイ、モバイル用タッチパネルスクリーンの加工用途で多くの生産装置納入実績がございます。ご要望に応じたフレキシブルな装置提案が可能です。

独DTF社のフラッシュランプアニーリング装置は、コンパクトで使い勝手がよく、各種アプリケーションの研究開発に最適です。

ドイツIntego社が製造する太陽電池ウェハ・セル用の非接触マイクロクラック検出装置。従来の測定器では難しかった結晶粒界とマイクロクラックの識別が可能。R&D用のスタンドアローン装置から、コンベア上に検査部を統合したインラインタイプをラインアップ。

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