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太陽電池関連装置・部材

Si結晶系、薄膜系の太陽電池製造に関連した様々な装置やターゲット材等の消耗資材をご紹介いたします。

多結晶シリコン溶解炉

多結晶シリコン溶解炉

真空冶金装置の総合メーカーである独ALD Vacuum Technologies GmbH 社は、ソーラーグレードのシリコンを溶解・再結晶化し、多結晶インゴット状にする装置を製造販売しており、既に数多くの運転実績を有しています。

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シリコンブロック内不純物検査装置・ブロック形状測定装置

シリコンブロック内不純物検査装置・ブロック形状測定装置

独Intego社のシリコンブロック検査装置は、多結晶シリコンブロック内のSiN, SiCなどの不純物検査やクラックの検出を行う装置です。同筐体で、ブロックの形状測定機能を追加することも可能です。

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シリコンインゴット ライフタイムテスター

シリコンインゴット ライフタイムテスター

ロシアTelecom社のシリコンインゴットのライフタイムテスターは非破壊、非接触測定方式で全世界に多数の納入実績があります。

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ガラスコーター・ウェブコーター

ガラスコーター・ウェブコーター

ラトビアSidrabe社は真空成膜装置のメーカーでユニークなプロセス技術を伴った装置を製造致しております。多肢にわたるアプリケーション装置を提案致します。

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第5世代向け有機層蒸着装置

第5世代向け有機層蒸着装置

韓国SNU社の第5世代向け有機層及びアルミ電極層の蒸着装置を提案いたします。

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薄膜封止装置

薄膜封止装置

韓国SNU社の薄膜封止装置を提案致します。新しいコンセプトを用いた本装置を使用することで、高ガスバリア性が得られ、薄く、フレキシブルなデバイスを製造することが可能となります。

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原子層堆積装置(ALD装置)

原子層堆積装置(ALD装置) / 開発機から量産機まで対応致します。

フィンランドBeneq社の原子堆積装置を提案致します。
3Dを始め、様々な形状の基板に均一でピンホールフリーの耐腐食膜、ガスバリア膜、ゲート酸化膜など機能性薄膜を成膜することができます。

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非接触表面抵抗測定器

非接触表面抵抗測定器 / インライン対応可能、表面抵抗値の異方性を測定可能です。

独Nagy社の非接触表面抵抗測定器を提案致します。
基板上に成膜された導電膜の抵抗値を非接触、オンラインで測定します。

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ウェットエッチング装置

ウェットエッチング装置

米国Wafab International社の半導体、太陽電池向けのウェットエッチング(テクスチャリング)装置です。全世界で1,000台以上の納入実績があり、R&D向け手動装置から生産ライン用完全自動装置まで、ご要望に応じたフレキシブルな対応が可能です。

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レーザー加工装置

レーザー加工装置

韓国Korea Laser Tech社が製造する各種レーザー加工装置です。OLED、液晶ディスプレイ、モバイル用タッチパネルスクリーンの加工用途で多くの生産装置納入実績がございます。ご要望に応じたフレキシブルな装置提案が可能です。

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太陽電池ウェハ・セル 非接触マイクロクラック検査装置

太陽電池ウェハ・セル 非接触マイクロクラック検査装置 / ANTARES

ドイツIntego社が製造する太陽電池ウェハ・セル用の非接触マイクロクラック検出装置。従来の測定器では難しかった結晶粒界とマイクロクラックの識別が可能。R&D用のスタンドアローン装置から、コンベア上に検査部を統合したインラインタイプをラインアップ。

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スロットダイコーター

スロットダイコーター / パテント取得の革新的なスロットダイコーターです。

パテント取得の最先端技術で均一の薄膜をコーティング致します。
量産機へのスケールアップが可能です。
ガラス、樹脂、金属フォイル、ウエハ等のリジッド&フィレキシブル基材に対応。 
FPD、OLED、PV、フィレキシブルフィルム、光学フィルム等多彩な用途にも対応。 

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ガラス基板専用 カッティング装置

ガラス基板専用 カッティング装置 / Billco社はガラス製造に関する、多種多様な装置を提供している企業です。

Billco社は、ガラス基板専用のカッティング装置を提案致します。複数カッティング装置がありますので、様々なサイズのガラスに対応可能です。

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RtoR 原子層堆積装置(ALD装置) 

RtoR 原子層堆積装置(ALD装置) 

Beneq社RtoR原子層堆積装置(ALD装置)は、フレキシブルエレクトロニクスの高い要求レベルに対応する高ガスバリア性を低コスト、単層膜で達成することが可能です。

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反応性リアクティブスパッタ向けPEM(プラズマエミッションモニター)、SOL.rpc

反応性リアクティブスパッタ向けPEM(プラズマエミッションモニター)、SOL.rpc / 反応性リアクティブスパッタプロセス中のプラズマの色、または電圧をモニタリングし、安定したスパッタ状態に導きます。

スパッタ装置内のプラズマの光の色(波長)をモニタリングし、常に安定した色になる様、マスフローコントローラー(MFC)に信号を送り、プロセスガスを最適な流量に制御するクローズドループシステムです。またプラズマ光をモニタリングする代わりに、カソード電圧をモニタリングすることで、マスフローコントローラー(MFC)に信号を送り、プロセスガスを最適な流量に制御するクローズドループシステムを組む事も可能です。
この技術により、特にリアクティブスパッタ(反応性スパッタ)プロセスにおいて、最適かつ安定したスパッタ状態に導きます。

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レーザー式フィルムカッティング装置

レーザー式フィルムカッティング装置 / 高速プロセス用 フィルムカッティング専用機

各種のフィルム材料を専用のレーザーチューニングにてシャープな切断面でカッティングができます。

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常圧エアゾール式コーター

常圧エアゾール式コーター / 薄膜を均一に高速コーティング、量産機へのスケールアップが可能

TCO(透明導電酸化)膜の量産向けコーティングに開発された独自技術により、常温で薄い液フィルムのコーティングが可能  

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真空用オゾン除害器

真空用オゾン除害器

真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。従来製品に比べ、分解効率が数倍高いマテリアルを開発したことにより、処理能力が非常に高く、発塵の無いオゾン除害器となっております。

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光学用原子層堆積装置  (プラズマALD装置)

光学用原子層堆積装置  (プラズマALD装置) / 従来のALDの4倍~10倍生産性の高いプラズマALDをご提案致します。

従来のALD装置では不可能であったプラズマを使用したバッチ式ロータリーALD装置の開発に成功致しました。従来のALD装置より4倍~10倍のハイスループットを達成致しました。

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大面積用原子層堆積装置  (ALD装置)

大面積用原子層堆積装置  (ALD装置) / 従来のALDの常識を覆す驚異的なスループットをご提案致します。

世界初のシートtoシート ALD装置の開発を致しました。大面積基板をシートからシートへ連続して移動させることにより、従来のALDの常識を完全に覆す驚異的なスループットを達成した革新的なALD装置です。

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お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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