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真空用オゾン除害器

真空用オゾン除害器
製造:株式会社PARAM[日本]

真空下で使用できる高効率オゾン除害器です。従来製品に比べ、分解効率が数倍高いマテリアルを開発したことにより、処理能力が非常に高く、発塵の無いオゾン除害器となっております。

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特長

・真空下で使用できます。
・発塵無くオゾンを分解します。
・真空ポンプ前段に設置することで、真空ポンプの腐食を防ぎます。

仕様

型式            OZ-1000
入口オゾン濃度     15%以下
出口オゾン濃度     0.1ppm以下
最大処理流量      5sccm以下
コンダクタンス      100L/min以上
※詳細はお問い合わせ下さい。
※上記以外にご希望される仕様がございましたらお問い合わせ下さい。

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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