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反応性リアクティブスパッタ向けPEM(プラズマエミッションモニター)、SOL.rpc / 反応性リアクティブスパッタプロセス中のプラズマの色、または電圧をモニタリングし、安定したスパッタ状態に導きます。

反応性リアクティブスパッタ向けPEM(プラズマエミッションモニター)、SOL.rpc
製造:SOLAYER GmbH[ドイツ]

スパッタ装置内のプラズマの光の色(波長)をモニタリングし、常に安定した色になる様、マスフローコントローラー(MFC)に信号を送り、プロセスガスを最適な流量に制御するクローズドループシステムです。またプラズマ光をモニタリングする代わりに、カソード電圧をモニタリングすることで、マスフローコントローラー(MFC)に信号を送り、プロセスガスを最適な流量に制御するクローズドループシステムを組む事も可能です。
この技術により、特にリアクティブスパッタ(反応性スパッタ)プロセスにおいて、最適かつ安定したスパッタ状態に導きます。

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特長

・スペクトロメーターからの取得データを高速で処理するSOLAYER独自のアルゴリズムを採用
・1台で、3から9式までのMFCを制御可能
・1台で、8から20か所のプラズマエミッションのモニタリング(PEM)が可能
・フィルターなしで200から1040nmまでのプラズマエミッションのモニタリング(PEM)が可能

適用

Al2O3、SiO2成膜等のリアクティブスパッタ (反応性スパッタ)プロセスの最適化

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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