製品情報

Home > 製品情報 > 部門別検索 > 情報精密機器部門 > その他成膜装置

その他成膜装置

工具等のハードコーティング用成膜装置や、ラボ用多目的成膜装置等をご紹介いたします。

複合型アークイオンプレーティング装置

複合型アークイオンプレーティング装置

韓国ISYS社製のスパッタ、HCD、アークイオンの三ソースをひとつのチャンバー内に搭載した複合型イオンプレーティング装置を提案致します。

製品はこちら
圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置

圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置

AMS社スパッタ装置(圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置)は、AlN膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜の成膜において高い面内均一性を達成。ストレス制御も可能。構成は、クラスタ装置で、基本構成で最大6チャンバー(プレクリーニング、カセットモジュール含)の統合が可能。

製品はこちら
ラボ用多目的成膜装置

ラボ用多目的成膜装置 / 大学・研究所用小型電子ビーム蒸着装置・小型スパッタ装置

韓国SNTEK社製のラボ用多目的成膜装置を低価格にて提案致します。 

製品はこちら
原子層堆積装置(ALD装置)

原子層堆積装置(ALD装置) / 開発機から量産機まで対応致します。

フィンランドBeneq社の原子堆積装置を提案致します。
3Dを始め、様々な形状の基板に均一でピンホールフリーの耐腐食膜、ガスバリア膜、ゲート酸化膜など機能性薄膜を成膜することができます。

製品はこちら
フラッシュランプアニーリング装置

フラッシュランプアニーリング装置 / FLA

独DTF社のフラッシュランプアニーリング装置は、コンパクトで使い勝手がよく、各種アプリケーションの研究開発に最適です。

製品はこちら
デスクトップ型の小型スパッタリング装置

デスクトップ型の小型スパッタリング装置 / デスクトッププロ

米Denton Vacuum社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。

製品はこちら
超精密電子ビーム真空蒸着装置

超精密電子ビーム真空蒸着装置

韓国SNTEK社の超精密電子ビーム真空蒸着システムは、バッチ式の生産設備で精密線幅を要求するPower IC、 LEDデバイス、 MEMSなどの薄膜蒸着及びリフトオフ工程に使用します。

製品はこちら
R&D用スパッタリング装置

R&D用スパッタリング装置 / マグネトロンスパッタリングシステム

韓国のSNTEK社製R&D用スパッタ装置は企業、大学の研究所向けの装置で、韓国国内で多数の納入実績があります。

製品はこちら
リチウム真空成膜装置

リチウム真空成膜装置 / 真空リチウムコーター

ラトビアSidrabe社は、ソ連邦真空局からスタートし歴史ある真空装置メーカで、軍事用、宇宙工学用から民生用まで幅広いノウハウを有し、すでに260台以上の真空成膜装置を出荷しております。その中でも、リチウム真空成膜装置は10年以上の経験を持ち、ご要望に応じた装置をご提案致します。

製品はこちら
リチウムイオン電池製造工程用各種組立装置

リチウムイオン電池製造工程用各種組立装置

mPLUS社は、韓国にてリチウムイオン電池の製造工程に使用される多種多様な組立装置を販売しております。

製品はこちら
大気圧用ラングミュアプローブ

大気圧用ラングミュアプローブ / 大気圧プラズマが測定可能なラングミュアプローブです。

大気圧プラズマ、常圧プラズマ、熱プラズマの以下パラメータが測定できます。
-プラズマ密度
-イオンカレント密度
-電子温度
-浮遊電位

世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。

製品はこちら
ITOターゲット研磨代行サービス

ITOターゲット研磨代行サービス / ITO、コバルトターゲット等のノジュール研磨

特定化学物質障害予防規則等が改正(平成25年1月1日より施行適用)されました。改正に伴い、インジウム化合物、コバルト及びその無機化合物について、健康障害防止措置が義務づけられます。弊社にてITOターゲット等、指定ターゲットのノジュール研磨を代行いたします。

製品はこちら
スロットダイコーター

スロットダイコーター / パテント取得の革新的なスロットダイコーターです。

パテント取得の最先端技術で均一の薄膜をコーティング致します。
量産機へのスケールアップが可能です。
ガラス、樹脂、金属フォイル、ウエハ等のリジッド&フィレキシブル基材に対応。 
FPD、OLED、PV、フィレキシブルフィルム、光学フィルム等多彩な用途にも対応。 

製品はこちら
大型基板専用 ガラス洗浄装置

大型基板専用 ガラス洗浄装置 / Billco社はガラス製造に関する、多種多様な装置を提供している企業です。

Billco社は、ガラス基板専用の洗浄、乾燥装置を提案致します。通常タイプの装置以外にも、ガラスを垂直にして洗浄する装置、小~中型ガラス基板専用の装置等、各種揃えております。

製品はこちら
ガラス基板専用 カッティング装置

ガラス基板専用 カッティング装置 / Billco社はガラス製造に関する、多種多様な装置を提供している企業です。

Billco社は、ガラス基板専用のカッティング装置を提案致します。複数カッティング装置がありますので、様々なサイズのガラスに対応可能です。

製品はこちら
ガラス欠陥検査装置

ガラス欠陥検査装置

Dr. Schenkは、様々なガラスの欠陥を自動で認識する、豊富な実績のガラス用欠陥検査装置を提供致します。

製品はこちら
RtoR 原子層堆積装置(ALD装置) 

RtoR 原子層堆積装置(ALD装置) 

Beneq社RtoR原子層堆積装置(ALD装置)は、フレキシブルエレクトロニクスの高い要求レベルに対応する高ガスバリア性を低コスト、単層膜で達成することが可能です。

製品はこちら
卓上スパッタ装置

卓上スパッタ装置 / 研究開発向けの卓上のスパッタ装置です

研究開発向けの小型のスパッタ装置です。
金属、金属炭化物、金属酸化物等の成膜が可能です。
RF電源からDC電源まで搭載可能で、リアクティブスパッタも可能です(オプション)。

製品はこちら
常圧エアゾール式コーター

常圧エアゾール式コーター / 薄膜を均一に高速コーティング、量産機へのスケールアップが可能

TCO(透明導電酸化)膜の量産向けコーティングに開発された独自技術により、常温で薄い液フィルムのコーティングが可能  

製品はこちら
高周波計測器 RF計測器

高周波計測器 RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能

Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。

・電圧
・電流
・フェーズ
・ハーモニクス
・インピーダンス
・イオンフラックス
・Waveform reconstruction

・1%の精度で測定が可能。
・1μsの時間分解能で測定が可能
・単周波数のみでなく、複数の周波数が測定可能(Ocye Poly Octiv Suite)
・イオンフラックスが測定可能 (Octiv Suite)

製品はこちら
ラングミュアプローブ

ラングミュアプローブ / プラズマを、正確に測定できる画期的な測定器です。

以下のパラメータが測定可能です。

浮遊電位
プラズマ電位
プラズマ密度
イオン電流密度
電子温度
電子エネルギー分布関数


測定機能
①時間平均測定
②時間分解測定
③タイムトレンド測定

製品はこちら
プラズマクリーナー

プラズマクリーナー / ~真空チャンバーと試料を同時にクリーニング致します。

電子顕微鏡や真空チャンバーの試料観察にて、コンタミを確実に除去致します。

製品はこちら
抗菌コーティング用成膜装置

抗菌コーティング用成膜装置 / C20S

抗菌コーティング用成膜装置です。
絶縁膜であるポリパラキシレンに特化した成膜装置です。

製品はこちら
光学用原子層堆積装置  (プラズマALD装置)

光学用原子層堆積装置  (プラズマALD装置) / 従来のALDの4倍~10倍生産性の高いプラズマALDをご提案致します。

従来のALD装置では不可能であったプラズマを使用したバッチ式ロータリーALD装置の開発に成功致しました。従来のALD装置より4倍~10倍のハイスループットを達成致しました。

製品はこちら
大面積用原子層堆積装置  (ALD装置)

大面積用原子層堆積装置  (ALD装置) / 従来のALDの常識を覆す驚異的なスループットをご提案致します。

世界初のシートtoシート ALD装置の開発を致しました。大面積基板をシートからシートへ連続して移動させることにより、従来のALDの常識を完全に覆す驚異的なスループットを達成した革新的なALD装置です。

製品はこちら
お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
お問い合わせはこちら

ページトップへ

製品情報