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圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置

圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置
製造:Advanced Modular Systems, Inc[米国]

AMS社スパッタ装置(圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置)は、AlN膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜の成膜において高い面内均一性を達成。ストレス制御も可能。構成は、クラスタ装置で、基本構成で最大6チャンバー(プレクリーニング、カセットモジュール含)の統合が可能。

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特徴

・高い面内均一性
・ストレス制御
・基板回転機構、冷却・加熱機構、基板RFバイアス
・膜厚自動制御機能
・ウェハ1枚手置きの低コストのR&Dタイプから量産タイプまで、各種装置構成有

適用

・SAW、BAWフィルタ等、高い面内均一性が要求される製品の成膜プロセス

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