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イオンミルトリミング装置

イオンミルトリミング装置
製造:Advanced Modular Systems, Inc[米国]

米AMS社のSAW, BAWフィルタ、その他のアプリケーションで使用されるトリミング装置。独自に開発した独特のイオンソースを使用し、優れた膜厚均一性を達成します。R&D機から量産タイプまで、使用用途に応じた装置構成をご提案致します。

メーカーサイト  

特長

・ 基板サイズ4"~8"まで対応
・ ウェハ手置きの低コストのR&Dタイプから量産タイプまで、各種装置構成をご提案

用途

SAW、BAWフィルタなどのトリミング

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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