精密機器部門

半導体やFPD製造工程における高付加価値製品を提供しています。

半導体やFPDの製造工程で使用される製造装置やﾌﾟﾛｾｽ用周辺機器をご紹介しております。

グラフト重合技術を生かした、気中または水中の微量濃度のｲｵﾝを捕獲するフィルターをご紹介しております。

クリーンな真空環境を作るドライポンプや真空計等をご紹介いたします。

各種表面解析に必要な検査装置をご紹介しております。

精密な形状や特殊材料での製品化をご希望される場合、ご相談ください。

省エネルギー、省スペースを追求した各種産業用ポンプを取り扱っています。

半導体製造プロセス内の薬液移送に優れたポンプを取り扱っています。

お問合せ先	精密機器部門
	東京本社 TEL：03-5472-1728　FAX：03-5472-1720 大阪支社 TEL：06-6372-4444　FAX：06-6375-0434 九州営業所 TEL：092-292-5491　FAX：092-292-5495

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