ベローズシリンダポンプ

シグマテクノロジー社製ベローズシリンダポンプは新構造のエア駆動機構を採用し、低脈動・低振動を実現しました。接液部は総テフロンですので、強酸・強アルカリなどの薬液移送に優れています。また、薬液温度は180度まで対応可能です。半導体の洗浄・薬液移送等への応用が期待できます。