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太陽電池ウェハ・セル　非接触マイクロクラック検査装置 / ANTARES

製造：Intego Vision Systems［ドイツ］

ドイツIntego社が製造する太陽電池ウェハ・セル用の非接触マイクロクラック検出装置。従来の測定器では難しかった結晶粒界とマイクロクラックの識別が可能。R&D用のスタンドアローン装置から、コンベア上に検査部を統合したインラインタイプをラインアップ。

特長

1. 太陽電池ウェハ・セルのマイクロクラックを結晶粒界と識別し、確実に検出。
2. ウェハ（1秒/枚）、セル（1.5秒/枚）で瞬時に検査。
3. コンベア上に検査部を統合するインラインタイプ、R&D用のオフラインタイプ、ソーター機能を持たせた準量産タイプ、など用途に応じた各種装置をラインアップ。

1. ウェハラインでの最終検査
2. ウェハラインで不良判定されたウェハの再検査（クロスチェック用途）
3. セルラインでの受け入れ検査
4. プリンティング前後の検査
5. セルラインでの最終検査
6. モジュールラインでの受入れ検査

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