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エアーフローティングステージ

製造:Core Flow[イスラエル]
Core Flow

非接触で基板を保持するエアーステージです。
電気不要、エアーのみの制御で大型基板を
ストレス無くフローティングします。
レイアウトに応じてご要望サイズ構成の
ステージを用意します。

メーカーサイト カタログ(PDF)

特長

- 高精度のエアーギャップ制御(±5μm以下)
- 様々な大きさのステージを作製可能
 (基板サイズG10.5以上、基板厚み0.1~1.5mmも対応可能)
- 圧縮空気、ブロアーのどちらでも使用可能
- エアークッションの高い剛性(2gr/cm2)
- 低いエアー供給圧(50~100mbar)
- レールタイプ、プレートタイプ共各種サイズ対応
- エッジ処理ソリューションにより、ガラスエッジとステージ との接触を防止

適用

- ディスプレイ基板用自動光学検査(AOI)システム
- スリットコーティングシステム
- OLED用インクジェット・プリンティングシステム
- UV硬化用ステージ
- FA(ファクトリーオートメーション)

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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