製品の特長

• - 高精度のエアーギャップ制御（±5μm以下）
  - 様々な大きさのステージを作製可能
  　（基板サイズG10.5以上、基板厚み0.1～1.5mmも対応可能）
  - 圧縮空気、ブロアーのどちらでも使用可能
  - エアークッションの高い剛性（2gr/cm2）
  - 低いエアー供給圧（50～100mbar）
  - レールタイプ、プレートタイプ共各種サイズ対応
  - エッジ処理ソリューションにより、ガラスエッジとステージ　との接触を防止