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真空石英管炉 IWQ

真空石英管炉 IWQ
製造:ALD Vacuum Technologies GmbH[ドイツ]

誘導加熱された石英管を用いて、熱処理および溶解を行う炉です。半導体および光ファイバー用 高純度材料、希土類金属の製造等に使用されます。

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特長

内面は石英管に覆われているので、高純度材料の熱処理、焼結、溶解及び蒸留に最適です。
希土類金属、半導体及び光ファイバー用高純度材料の製造が可能です。
軸方向及び半径方向に均一な温度分布が得られています。
石英管長さ2000mm、直径1000mmの炉の製造が可能です。

お問合せ先 産機一部 マテリアルプロセスグループ
  TEL:03-5472-1745 FAX:03-5472-1740
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