計測装置

液晶カラーフィルターフォトスペーサーの三次元高さ計測装置や非接触式の薄膜抵抗測定装置をご紹介致します。

韓国SNU Precision社の三次元形状測定機は、白色汗渉型の測定機です。段差や突起物の形状・高さなど表面形状を0.1nmの分解能にて測定します。

独Nagy社の非接触表面抵抗測定器を提案致します。
基板上に成膜された導電膜の抵抗値を非接触、オンラインで測定します。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- イオンカレント
- エレクトロンフラックスとエネルギー

Low-Eガラス、断熱材等の熱放射率を簡易かつ正確に測定いたします。

MPS社の薄膜測定システムはシンプルな構成で高精度の膜厚測定を可能としております。

Phaseview社のWave Gauge レンズ特性測定装置は、Phaseview社が開発した波面センサーを使用したレンズ測定器です。コンタクトレンズ、眼内レンズ（IOL）、非球面レンズ、マイクロレンズやピックアップレンズの各種光学パラメーター測定が行えます。

ラインアップ