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計測装置

液晶カラーフィルターフォトスペーサーの三次元高さ計測装置や非接触式の薄膜抵抗測定装置をご紹介致します。

三次元形状測定機

三次元形状測定機

韓国SNU Precision社の三次元形状測定機は、白色汗渉型の測定機です。段差や突起物の形状・高さなど表面形状を0.1nmの分解能にて測定します。

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非接触表面抵抗測定器

非接触表面抵抗測定器 / インライン対応可能、表面抵抗値の異方性を測定可能です。

独Nagy社の非接触表面抵抗測定器を提案致します。
基板上に成膜された導電膜の抵抗値を非接触、オンラインで測定します。

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イオンエネルギー測定器

イオンエネルギー測定器

真空下でのエッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- ネガティブイオン
- 温度
- バイアス電圧

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熱放射率測定装置

熱放射率測定装置

Low-Eガラス、断熱材等の熱放射率を簡易かつ正確に測定いたします。

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反応性リアクティブスパッタ向けPEM(プラズマエミッションモニター)、SOL.rpc

反応性リアクティブスパッタ向けPEM(プラズマエミッションモニター)、SOL.rpc / 反応性リアクティブスパッタプロセス中のプラズマの色、または電圧をモニタリングし、安定したスパッタ状態に導きます。

スパッタ装置内のプラズマの光の色(波長)をモニタリングし、常に安定した色になる様、マスフローコントローラー(MFC)に信号を送り、プロセスガスを最適な流量に制御するクローズドループシステムです。またプラズマ光をモニタリングする代わりに、カソード電圧をモニタリングすることで、マスフローコントローラー(MFC)に信号を送り、プロセスガスを最適な流量に制御するクローズドループシステムを組む事も可能です。
この技術により、特にリアクティブスパッタ(反応性スパッタ)プロセスにおいて、最適かつ安定したスパッタ状態に導きます。

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