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R&D用スパッタリング装置 / マグネトロンスパッタリングシステム
| 製造：SNTEK Co., LTD［韓国］ |
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韓国のSNTEK社製R&D用スパッタ装置は企業、大学の研究所向けの装置で、韓国国内で多数の納入実績があります。
特長
・ 最適化されたスパッタカソード設計で同時スパッタリングが可能
・ 金属及び非金属の同時成膜を実現
・ カソードシミュレーションにより、ターゲットの高い使用効率の実現
・ 大面積基板に優れた膜均一性の形成
・ シンプルな設計で、メンテナンスコストと時間の削減
(リモート制御により、機器の管理と迅速な対応を実現)
・ 長年のノウハウをベースにした、カスタマイズされた機器の製作とプロセスのサポート
・ R&D機器の専任の顧客サポートチームの構成で顧客の要求に迅速な対応を実現
・ 使用上の安全と利便性を考慮したインターロックの構築
適用
R&D、大学の研究所
仕様
ご要望に応じたカスタマイズにより決定させていただきます。
| お問合せ先 | 情報部門 |
|---|---|
| TEL：03-5472-1721 FAX：03-5472-1720 |
