真空ポンプ・真空機器

クリーンな真空環境を作るドライポンプや真空計等をご紹介いたします。

放電原理によるオゾンガスの発生装置です。
無声放電と沿面放電の複合放電により超高濃度のオゾンを生成します。

CC-10は最新のセンサー技術を取り入れ、クリスタルゲージとコールドカソードゲージの組み合わせによる12桁の圧力範囲（1.0×10-7 ～1.0×105 [Pa]）の連続測定を可能とした真空計です。

低真空領域から中真空領域まで測定に適したコンベクションピラニーゲージ及びピラニーゲージです。

省エネルギー型ESRシリーズの後継機としてEV-Sシリーズをリリース致しました。勿論、腐食プロセスへの対応も可能な耐食母材仕様もラインアップ。
他にも軽負荷専用VOS、大量の反応副生成物が発生するプロセス対応のESTシリーズ等を取り揃えております。

半導体製造時に排出される有害ガスの無害化装置です。大量生産に最適な燃焼式処理装置から研究用途のトラップ式乾式除害装置まで豊富なラインアップ。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- イオンカレント
- エレクトロンフラックスとエネルギー

独DTF社のフラッシュランプアニーリング装置は、コンパクトで使い勝手がよく、各種アプリケーションの研究開発に最適です。

ラインアップ