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EPIXケミカルフィルタ搭載FFU(ファンフィルタユニット)
| 製造：株式会社イー・シー・イー （英語名 Ebara Clean Enviroment Co., Ltd)［日本］ |
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クリーンルーム用に開発されたケミカルフィルタ搭載の自立型ファンフィルタユニット装置です。汚染物の種類・濃度に応じてケミカルフィルタの積層化が可能であり、除去能力が高く半導体/液晶製造装置または実験用のブースに接続して用いると効果的です。
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特長
1． 自立型でキャスタにより移動可能です。一定空間内のケミカルを除去して清浄空気を供給できます。
2．汚染物質の種類濃度に応じて500mmまでの最適なケミカルフィルタを搭載することができます。
3．インバータ制御により5m3/minまたは10m3/minまで風量の可変ができます。
4．半導体/液晶分野の規格であるSEMIとCEに準拠しております。
適用
1．半導体/液晶製造装置内部のクリーン化
2．実験装置、クリーンブースのケミカルクリーン化
仕様
| お問合せ先 | 精密機器部門 |
|---|---|
| 東京本社 TEL：03-5472-1728 FAX：03-5472-1720 大阪支社 TEL：06-6372-4444 FAX：06-6375-0434 九州営業所 TEL：092-292-5491 FAX：092-292-5495 |
