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機能水・オゾン水製造装置・濃度計
半導体やFPD製造に必要な機能水を製造する装置とその周辺機器のご紹介です。
機能水製造装置
半導体、液晶製造プロセスで要求されるクリーンな機能水（脱気水、水素水、炭酸水、窒素水、オゾン水等）の製造装置です。ご指定により単独又は各機種の組み合わせが可能です。
オゾン水製造装置は個別のご紹介頁をご参照ください。
オゾン水製造装置 OZWシリーズ
荏原のオゾン水製造装置はテフロン製溶解膜、クリーンかつ高濃度オゾナイザ発生器及びノンパーティクルポンプを組み合わせることにより、次世代ウェットプロセス対応のクリーンオゾン水を連続供給できる装置です。オゾン水は機能水の一つですが多目的用途に注目されています。
ノンパーティクルポンプ NDCシリーズ
NDCシリーズはウルトラクリーンが要求される半導体プロセスに最適な超純水及び薬液の移送・ 加圧用小形マグネットポンプです。動圧軸受の採用により機械的接触が一切なく、ポンプ内からのパーティクル発生を微少に抑えます。
ピュアウォータージェットポンプ PJシリーズ
PJシリーズは超純水による枚葉式ウェーハジェット洗浄を対象とした高圧プランジャポンプです。ポンプ内面 に電解研磨を施す事より、表面が清浄に保たれます。また、簡潔な構造により、超純水に触れる部分をできるだけ少なくするとともに、シール部から発生するパーティクルがジェット水に混入しないように工夫されています。
