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薬液ヒータ

薬液ヒータ
製造:株式会社セラ[日本]

半導体、液晶業界のプロセスに欠かせない薬液用ヒーターです。接液部は全てPFAの為不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。縦置き型、横置き型が選択可能で各種ヒーター容量を取り揃えております。

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特長

・接液部は全てPFAの為、不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。
・発熱体含む構成部品は長寿命。
・運転温度及び圧力は150℃×0.4Mpa

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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