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潤滑剤蒸着装置 / AccuLuber
| 製造：Intevac, Inc.［米国］ |
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Intevac社のAccuLuberは、潤滑剤を真空内にて蒸着する装置です。溶剤を使用しないため環境に優しく、ディップ装置に比べ年間15万ドル以上のコストダウンが可能です。膜厚分布に優れ、高いスループットを特長とします。
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特長
Intevac社は、ハードディスク業界向けにスパッタ装置及び潤滑剤蒸着装置を提供しています。AccuLuberは、2台のプロセスチャンバーを有し、同時にプロセスを行うことにより高い生産性を実現しました。ディスクの搬送はカセットトゥカセット方式です。ディスクを搭載したカセットをロードチャンバーにて真空引きを行い、各ディスクをプロセスチャンバーへリフトアップして搬送します。プロセスチャンバー内は、潤滑剤の雰囲気下にあり両面を同時に蒸着します。潤滑剤は、ディフューザープレートを通して蒸発されます。ディフューザープレート、特殊なパターニングを伴った穴があり、面内分布をコントロールします。蒸着ﾚｰﾄは、モニタリングされヒーターを制御することにより可変することができます。ポンプを含めたすべてのコンポーネントが装置内に収まっているため、メンテナンスが容易です。
| お問合せ先 | 情報部門 |
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| TEL：03-5472-1721 FAX：03-5472-1720 |
