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計測・検査装置

薄膜測定システム、レンズ特性測定装置、サブストレート・ディスク検査用各種テストヘッド等をご紹介致します。

大気圧用ラングミュアプローブ

大気圧用ラングミュアプローブ / 大気圧プラズマが測定可能なラングミュアプローブです。

大気圧プラズマ、常圧プラズマ、熱プラズマの以下パラメータが測定できます。
-プラズマ密度
-イオンカレント密度
-電子温度
-浮遊電位

世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。

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