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ドライポンプ

ドライポンプ
製造:株式会社荏原製作所[日本]

省エネルギー型ESRシリーズの後継機としてEV-Sシリーズをリリース致しました。勿論、腐食プロセスへの対応も可能な耐食母材仕様もラインアップ。
他にも軽負荷専用VOS、大量の反応副生成物が発生するプロセス対応のESTシリーズ等を取り揃えております。

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特長

1. 徹底した小型化 従来機よりフットプリントを従来機比較44%減を実現/軽量化 従来機比較33%減
2. 更なる消費電力の削減 従来機比較35%減
3. 母材FC標準仕様と耐食仕様の両方を設定
4. 回転数制御が可能

適用

半導体製造、FPD製造用真空プロセス装置
各種分析装置、電子顕微鏡等 

ラインアップ

VOSシリーズはプロセス装置内蔵やCR内のわずかなスペースの有効利用を目的とし、ロードロック室・SEMや絶縁膜エッチングプロセスまでのアプリケーションを対象に新規設計された超小型・軽量・装置搭載対応用のドライポンプです。
排気速度(L/Min): 1,800/1,700

ESTシリーズ

ESTシリーズは反応副生成物が形成されるCVD等向けにスクリュウ型ロータを採用し、許容流入ガス量増大・耐食性能・排気速度可変機能・通信機能等の付加価値、電力消費量の低減をも実現した独立設置型ドライポンプです。
排気速度(L/Min):1,000/2,500/10,000/20,000/30,000/50,000

ESAシリーズ

ESAシリーズはLCDスパッタ装置・真空乾燥プロセス・大型ロードロック室等の高速排気性能に優れ、ガス負荷に応じた回転数自動制御機能・通信機能等の付加価値を搭載した独立設置型ドライポンプです。
 排気速度(L/Min):30,000

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ドライポンプESTカタログ(PDF 943.33 KB)PDF

ドライポンプVOSカタログ(PDF 577.58 KB)PDF

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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