除害装置

製造：株式会社荏原製作所［日本］

半導体製造時に排出される有害ガスの無害化装置です。大量生産に最適な燃焼式処理装置から研究用途のトラップ式乾式除害装置まで豊富なラインアップ。

特長

高い安全設計、腐食、反応副生成物対策
高いメンテナンス性能：前面アクセス
他　ご使用目的に応じて製品をご紹介いたしますのでお問い合わせください。

半導体製造、FPD製造用真空プロセス装置
1）LP-CVD,PE-CVD,ALD装置等　燃焼除害装置
2）エッチング、アッシング装置等　F固定排ガス処理装置、燃焼除害装置
3）イオン注入装置、研究用途他　乾式除害装置

お問合せ先	精密機器部門
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