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機能水・オゾン水製造装置・濃度計

半導体やFPD製造に必要な機能水を製造する装置とその周辺機器のご紹介です。

機能水製造装置

機能水製造装置

半導体、液晶製造プロセスで要求されるクリーンな機能水(脱気水、水素水、炭酸水、窒素水、オゾン水等)の製造装置です。ご指定により単独又は各機種の組み合わせが可能です。
オゾン水製造装置は個別のご紹介頁をご参照ください。

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オゾン水製造装置 OZWシリーズ

オゾン水製造装置 OZWシリーズ

荏原のオゾン水製造装置はテフロン製溶解膜、クリーンかつ高濃度オゾナイザ発生器及びノンパーティクルポンプを組み合わせることにより、次世代ウェットプロセス対応のクリーンオゾン水を連続供給できる装置です。オゾン水は機能水の一つですが多目的用途に注目されています。

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超高濃度クリーンオゾナイザ OZCシリーズ

超高濃度クリーンオゾナイザ OZCシリーズ

放電原理によるオゾンガスの発生装置です。
無声放電と沿面放電の複合放電により超高濃度のオゾンを生成します。

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ピュアウォータージェットポンプ PJシリーズ

ピュアウォータージェットポンプ PJシリーズ

PJシリーズは超純水による枚葉式ウェーハジェット洗浄を対象とした高圧プランジャポンプです。ポンプ内面 に電解研磨を施す事より、表面が清浄に保たれます。また、簡潔な構造により、超純水に触れる部分をできるだけ少なくするとともに、シール部から発生するパーティクルがジェット水に混入しないように工夫されています。

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