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純水・薬液ヒータ

半導体の製造に使用される各種薬液の昇温設備、機器です。

薬液ヒータ

薬液ヒータ

半導体、液晶業界のプロセスに欠かせない薬液用ヒーターです。接液部は全てPFAの為不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。縦置き型、横置き型が選択可能で各種ヒーター容量を取り揃えております。

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超純水ヒータ

超純水ヒータ

半導体製造プロセス向け超純水ヒーターです。接液部は全てPFAの為不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。高熱効率、純水最高温度95℃が特徴です。

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オゾン水製造装置 OZWシリーズ

オゾン水製造装置 OZWシリーズ

荏原のオゾン水製造装置はテフロン製溶解膜、クリーンかつ高濃度オゾナイザ発生器及びノンパーティクルポンプを組み合わせることにより、次世代ウェットプロセス対応のクリーンオゾン水を連続供給できる装置です。オゾン水は機能水の一つですが多目的用途に注目されています。

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ピュアウォータージェットポンプ PJシリーズ

ピュアウォータージェットポンプ PJシリーズ

PJシリーズは超純水による枚葉式ウェーハジェット洗浄を対象とした高圧プランジャポンプです。ポンプ内面 に電解研磨を施す事より、表面が清浄に保たれます。また、簡潔な構造により、超純水に触れる部分をできるだけ少なくするとともに、シール部から発生するパーティクルがジェット水に混入しないように工夫されています。

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