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超純水ヒータ
| 製造：株式会社セラ［日本］ |
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半導体製造プロセス向け超純水ヒーターです。接液部は全てPFAの為不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。高熱効率、純水最高温度95℃が特徴です。
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特長
◆接液部は全てPFAの為、不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。
◆発熱体含む構成部品は長寿命。
◆運転温度及び圧力は95℃ × 0.4Mpa
仕様
| 型式 | EHS |
| ヒーター容量 | 25～150Kw |
| 純水温度 | MAX 95℃ |
| 温度制御 | PID制御 |
| 温調制度 | ±1℃（定流量時） |
| 使用圧力 | MAX 0.4MPa |
| 主要材質 | 接液部/PFA その他要部SUS304 |
| 保護及び警報 | 水温異常加熱 発熱体過熱 漏水 フロー検知 空炊き |
| お問合せ先 | 精密機器部門 |
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| 東京本社 TEL：03-5472-1728 FAX：03-5472-1720 大阪支社 TEL：06-6372-4444 FAX：06-6375-0434 九州営業所 TEL：092-292-5491 FAX：092-292-5495 |
