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ベローズシリンダポンプ
| 製造：シグマテクノロジー有限会社［日本］ |
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シグマテクノロジー社製ベローズシリンダポンプは新構造のエア駆動機構を採用し、低脈動・低振動を実現しました。接液部は総テフロンですので、強酸・強アルカリなどの薬液移送に優れています。また、薬液温度は180度まで対応可能です。半導体の洗浄・薬液移送等への応用が期待できます。
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特長
1. 耐薬液移送・耐熱設計 : 接液部は総テフロンですので、強酸・強アルカリなどの薬液移送可能。薬液温度は180度まで対応可能。
2. 低脈動 ： 駆動エア圧力や切換え時間をコントローラで適切に設定することにより、低脈動吐出を実現。
3. 低振動 ： 可動部の慣性モーメントが少ないため動作時の振動を最小限に抑えることが可能。
適用
1. 洗浄プロセス
2. 薬液供給プロセス
| お問合せ先 | 精密機器部門 |
|---|---|
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