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卓上スパッタ装置 / 研究開発向けの卓上のスパッタ装置です

卓上スパッタ装置
製造:A-Tech System[韓国]

研究開発向けの小型のスパッタ装置です。
金属、金属炭化物、金属酸化物等の成膜が可能です。
RF電源からDC電源まで搭載可能で、リアクティブスパッタも可能です(オプション)。

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特長

・ターゲットサイズ:2~3インチ
・基板サイズ:3インチまで
・基板加熱:300℃まで(オプション)
・TS距離:60~100mm
・重量:100kg
・寸法:561mm(横) x 548mm(奥行) x 519mm(高さ) (標準仕様の場合)
・冷却装置取付可能(オプション)

適用

・半導体
・ディスプレイ
・太陽電池

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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