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純水・薬液ヒータ

半導体の製造に使用される各種薬液の昇温設備、機器です。

薬液ヒータ

薬液ヒータ

半導体、液晶業界のプロセスに欠かせない薬液用ヒーターです。接液部は全てPFAの為不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。縦置き型、横置き型が選択可能で各種ヒーター容量を取り揃えております。

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超純水ヒータ

超純水ヒータ

半導体製造プロセス向け超純水ヒーターです。接液部は全てPFAの為不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。高熱効率、純水最高温度95℃が特徴です。

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オゾン水製造装置 OZWシリーズ

オゾン水製造装置 OZWシリーズ

荏原のオゾン水製造装置はテフロン製溶解膜、クリーンかつ高濃度オゾナイザ発生器及びノンパーティクルポンプを組み合わせることにより、次世代ウェットプロセス対応のクリーンオゾン水を連続供給できる装置です。オゾン水は機能水の一つですが多目的用途に注目されています。

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ピュアウォータージェットポンプ PJシリーズ

ピュアウォータージェットポンプ PJシリーズ

PJシリーズは超純水による枚葉式ウェーハジェット洗浄を対象とした高圧プランジャポンプです。ポンプ内面 に電解研磨を施す事より、表面が清浄に保たれます。また、簡潔な構造により、超純水に触れる部分をできるだけ少なくするとともに、シール部から発生するパーティクルがジェット水に混入しないように工夫されています。

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エバラ バレルドモータポンプ Hzfreeシリーズ MMFA型

エバラ バレルドモータポンプ Hzfreeシリーズ MMFA型

Hzfreeの基本コンセプトである省エネルギー・省スペース・ノンリーク・低騒音・清潔・省メンテナンスを更にグレードアップした製品です。さらに、インバータ実装ポンプなので流量調整が容易、煩わしい初期設定が不要となっております。

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エバラ バレルドモータポンプ Hzfreeシリーズ AAFA型

エバラ バレルドモータポンプ Hzfreeシリーズ AAFA型

「専用モータ(水冷形バレルドモータ)」「専用インバータ」を一体開発することにより、極限までの小形化と、高機能を付加した従来にない画期的な「インバータ実装モータポンプ」です。既存・新規の用途を問わず、お客様の設備・装置の新たな可能性を追求できるポンプとなっております。

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エバラ ステンレス製 立形多段ポンプ EVM型

エバラ ステンレス製 立形多段ポンプ EVM型

立形構造なので省スペース設計で設置場所を選ばず、使用液温範囲は-15~120度で使用可能、トップ・プル・アウト構造を採用することによりメンテナンスが容易となっております。
また、特殊仕様の電動機高効率形(JIS C 4212適合)にすることにより、消費電力の削減を図れます。※5.5kW以上

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エバラ ステンレス製浸漬式 多段ポンプ VTP型

エバラ ステンレス製浸漬式 多段ポンプ VTP型

主要部材料はステンレスプレス製、電動機にアルミフレームを採用することにより小形・軽量化を実現しました。さらに、軸受部分には耐摩耗性に優れた超硬(タングステンカーバイト)軸受、軸封部にはSiC/SiCメカニカルシールを採用して高耐久設計となっております。

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エバラ PMモータ搭載 インラインポンプ SSLD型

エバラ PMモータ搭載 インラインポンプ SSLD型

「環境配慮型」をキーワードに、羽根車及びケーシングの新規設計によりポンプハイドロ効率を高めるとともに、コントローラ一体型の高効率永久磁石形同期電動機(PMモータ)を採用することで総合効率の向上を図っています。
さらに、コントローラにより用途に合わせた各種の回転速度制御も可能となっております。

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