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表面検査装置・表面解析関係

各種表面解析に必要な検査装置をご紹介しております。

大気圧用ラングミュアプローブ

大気圧用ラングミュアプローブ / 大気圧プラズマが測定可能なラングミュアプローブです。

大気圧プラズマ、常圧プラズマ、熱プラズマの以下パラメータが測定できます。
-プラズマ密度
-イオンカレント密度
-電子温度
-浮遊電位

世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。

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レーザー式フィルムカッティング装置

レーザー式フィルムカッティング装置 / 高速プロセス用 フィルムカッティング専用機

各種のフィルム材料を専用のレーザーチューニングにてシャープな切断面でカッティングができます。

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高周波計測器 RF計測器

高周波計測器 RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能

Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。

・電圧
・電流
・フェーズ
・ハーモニクス
・インピーダンス
・イオンフラックス
・Waveform reconstruction

・1%の精度で測定が可能。
・1μsの時間分解能で測定が可能
・単周波数のみでなく、複数の周波数が測定可能(Ocye Poly Octiv Suite)
・イオンフラックスが測定可能 (Octiv Suite)

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ラングミュアプローブ

ラングミュアプローブ / プラズマを、正確に測定できる画期的な測定器です。

以下のパラメータが測定可能です。

浮遊電位
プラズマ電位
プラズマ密度
イオン電流密度
電子温度
電子エネルギー分布関数


測定機能
①時間平均測定
②時間分解測定
③タイムトレンド測定

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プラズマクリーナー

プラズマクリーナー / ~真空チャンバーと試料を同時にクリーニング致します。

電子顕微鏡や真空チャンバーの試料観察にて、コンタミを確実に除去致します。

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