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半導体装置用消耗資材

CMPパッド用のコンディショナーをご紹介致します。

CMPパッドコンディショナー

CMPパッドコンディショナー

米Morgan Advanced Ceramics社のCMPプロセスで使用する表面がダイアモンドで覆われた独特の構造のパッドコンディショナーを提案致します。

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スロットダイコーター

スロットダイコーター / パテント取得の革新的なスロットダイコーターです。

パテント取得の最先端技術で均一の薄膜をコーティング致します。
量産機へのスケールアップが可能です。
ガラス、樹脂、金属フォイル、ウエハ等のリジッド&フィレキシブル基材に対応。 
FPD、OLED、PV、フィレキシブルフィルム、光学フィルム等多彩な用途にも対応。 

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レーザー式フィルムカッティング装置

レーザー式フィルムカッティング装置 / 高速プロセス用 フィルムカッティング専用機

各種のフィルム材料を専用のレーザーチューニングにてシャープな切断面でカッティングができます。

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常圧エアゾール式コーター

常圧エアゾール式コーター / 薄膜を均一に高速コーティング、量産機へのスケールアップが可能

TCO(透明導電酸化)膜の量産向けコーティングに開発された独自技術により、常温で薄い液フィルムのコーティングが可能  

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