非接触基板厚み測定器

特長

2本のセンサープローブをウエハ表面、裏面へ同時に近づけて測定を行うため、1度に表面裏面の情報が得られます。①白色光センサープローブ(色の波長により焦点距離が異なる原理を用いて測定）②空圧検知式センサプローブ　両タイプ共、基板状態（透過、反射、導電性有無、ポリッシュ有無、湿気有無）に影響されず正確な値が得られます。　GaAs、GaN、SiC、サファイヤ、ガラス基板測定向きです。　校正サンプル不要のマニュアルタイプから、セミオートタイプ、フルオートタイプまで豊富なラインアップ。

適用

化合物半導体、半導体／基板厚み測定装置

お問合せ先	情報部門
	TEL：03-5472-1721　FAX：03-5472-1720

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