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光複屈折率・光導波損失・膜厚測定装置 SPA-4000

光複屈折率・光導波損失・膜厚測定装置 SPA-4000
製造:Sairon Technology, Inc.[韓国]

韓国サイロンテクノロジー社のプリズムカラーです。
±0.01dB/cmの精度で光伝搬損失を測定します。
また、サンプルを回転させながら、光複屈折率の変移を解析致します。

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特長

・光伝搬損失を±0.01dB/cmの再現精度で測定可能 (SiO2の場合)
・液体の光屈折率を測定可能
・基板上の2層の上下層薄膜を下層についての光屈折率、膜厚が分かっていなくても測定可能     
(上下層で合計7モード以上検出できた場合)
・基板上の2層の上層薄膜を1モード検出のみで測定可能
(下層についての光屈折率、膜厚が分かっている場合)
・モーター最小分解能0.0025mm毎にデーターを採集
・2層測定の場合、微小な上下層の光屈折率差でも個別測定可能
(633nmレーザー測定での場合、デルタ0.01%以上で測定可能)

用途

光導波路、ディスプレイ、光/磁気記録媒体、光学素子、IC製造工程等

仕様

●光伝搬損失(マッチングオイル法)
0.01dB/cmまでの微細な損失を検出 
註:試料品質に依存します。

●光屈折率

1.0 -1.8±(0.001) at 405?1550nm

1.8 ?2.45±(0.001) at 532?1550nm

●光屈折率温度依存測定
室温~150℃

●膜厚
0.4um-150um±(0.5%)

●光複屈折率測定
X,Y,Z軸の光屈折率の変移を、回転しながら解析

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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