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顕微鏡用3次元測定デバイス
| 製造：Phaseview［フランス］ |
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仏Phaseview社の3次元測定デバイスを提案致します。
お手持ちの顕微鏡に取り付けるだけでナノレベルの3次元測定を実現致します。
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特長
高精度のウエーブフロント測定
Phaseview社パテントの3次元解析技術
追加のパーツの購入の必要なし
簡便なセットアップ及び操作性
コヒーレント光使用の必要なし
測定時間10秒以内
ナノレベルの測定精度
非常にシンプルな構成による低価格
振動等環境の影響が少ない
仕様
| 対物レンズ倍率 | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | |||||
| ワーキングディスタンス, mm | 23.5 | 17.5 | 4.5 | 1 | 1 | |||||
| 開口数(NA) | 0.15 | 0.3 | 0.45 | 0.8 | 0.9 | |||||
| 測定エリア (X,Y), mm2 | 1.3 x 1.0 | 0.66 x 0.53 | 0.33 x 0.27 | 0.13 x 0.10 | 0.065 x 0.05 | |||||
| 横方向分解能 (X,Y), μm | 2.8 | 1.4 | 0.9 | 0.5 | 0.4 | |||||
| GetPhase® (GP)* / GetPhase® Extended (GPE)** |
GP | GPE | GP | GPE | GP | GPE | GP | GPE | GP | GPE |
| 最大斜度（角度） | 8 | 89 | 16 | 89 | 24 | 88 | 38 | 84 | 42 | 78 |
| Ｚ方向測定レンジ, μm | 35 | 100 0 |
9 | 250 | 4 | 62.5 | 1.1 | 10 | 0.8 | 2.5 |
| Ｚ方向分解能, μm | 0.35 | 6.9 | 0.09 | 1.7 | 0.04 | 0.7 | 0.01 1 |
0.2 | 0 8 |
0.17 |
| 測定ポイント数 | 1.3 メガピクセル (1280 x 1024 pixel array) | |||||||||
| 測定時間 | < 10 | |||||||||
| 顕微鏡取付部 | Ｃマウント | |||||||||
| サイズ(L x W x H), mm | 120 x 74 x 173 | |||||||||
| 重量, kg | 2.2 | |||||||||
| お問合せ先 | 情報部門 |
|---|---|
| TEL：03-5472-1721 FAX：03-5472-1720 |
