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薄膜関連測定・検査装置

非接触式抵抗測定装置、非接触式基板厚み測定装置をご紹介致します。

非接触表面抵抗測定器

非接触表面抵抗測定器 / インライン対応可能、表面抵抗値の異方性を測定可能です。

独Nagy社の非接触表面抵抗測定器を提案致します。
基板上に成膜された導電膜の抵抗値を非接触、オンラインで測定します。

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熱放射率測定装置

熱放射率測定装置

Low-Eガラス、断熱材等の熱放射率を簡易かつ正確に測定いたします。

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大気圧用ラングミュアプローブ

大気圧用ラングミュアプローブ / 大気圧プラズマが測定可能なラングミュアプローブです。

大気圧プラズマ、常圧プラズマ、熱プラズマの以下パラメータが測定できます。
-プラズマ密度
-イオンカレント密度
-電子温度
-浮遊電位

世界で初めて大気圧で使用可能なラングミュアプローブの開発に成功しました。

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引張強度・剥離強度・せん断抵抗・シール強度測定器

引張強度・剥離強度・せん断抵抗・シール強度測定器

Labthinkは小型測定器を多数扱っております。                        引張強度・剥離強度・せん断抵抗・シール強度を測定します。

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ヒートシール性・シール粘着強度測定器

ヒートシール性・シール粘着強度測定器

Labthinkは小型測定器を多数扱っております。
ヒートシール性、シール直後のシール粘着強度を測定します。

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フィルム用熱伸縮力・熱伸縮幅測定器

フィルム用熱伸縮力・熱伸縮幅測定器

Labthinkは小型測定器を多数扱っております。
熱伸縮性フィルムの、熱伸縮力、熱伸縮幅を測定します。

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耐衝撃性検査機

耐衝撃性検査機

Labthinkは小型測定器を多数扱っております。                        ボール又は棒を自然落下させることで、試料の耐衝撃性を測定します。

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厚み測定器

厚み測定器

Labthinkは小型測定器を多数扱っております。
正確な厚みを測定します。

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水蒸気透過率測定器

水蒸気透過率測定器

Labthink社は小型測定器を多数扱っております。
同時に3つの異なるフィルムの水蒸気透過率が容易に測定可能です。             

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気体透過率測定器

気体透過率測定器

同時に3つの異なるフィルムの透過率を精度よく測定可能です。(特許技術)
酸素、窒素、二酸化炭素などに加えて、メタンガスや水素ガスといった可燃性のある気体であっても測定可能です。
試験する際、圧力を変えて測定できます。
内臓しているコンピュータ操作により、安全で使い勝手のよい操作を可能にします。

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酸素透過率測定器

酸素透過率測定器

酸素透過率測定において、等しい圧力で測定できます。
同時に三枚のフィルム測定ができ、精確な温度、湿度コントロールが可能です。
高濃度窒素と水素と窒素の混合ガス両方がキャリアガスとして使用できます。
9つまで並列接続できます。

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反応性リアクティブスパッタ向けPEM(プラズマエミッションモニター)、SOL.rpc

反応性リアクティブスパッタ向けPEM(プラズマエミッションモニター)、SOL.rpc / 反応性リアクティブスパッタプロセス中のプラズマの色、または電圧をモニタリングし、安定したスパッタ状態に導きます。

スパッタ装置内のプラズマの光の色(波長)をモニタリングし、常に安定した色になる様、マスフローコントローラー(MFC)に信号を送り、プロセスガスを最適な流量に制御するクローズドループシステムです。またプラズマ光をモニタリングする代わりに、カソード電圧をモニタリングすることで、マスフローコントローラー(MFC)に信号を送り、プロセスガスを最適な流量に制御するクローズドループシステムを組む事も可能です。
この技術により、特にリアクティブスパッタ(反応性スパッタ)プロセスにおいて、最適かつ安定したスパッタ状態に導きます。

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高精度3Dスキャナー

高精度3Dスキャナー / 5000DPIの超高解像度で3Dデータが取得できます。

5000dpiの超高解像度で3D情報及び色を高精度に高速でスキャン致します。
カラーと3D形状を別々にスキャンし、完全にマッチングさせる独自のパテント技術により、高精度なデータが取得可能です。

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高解像度3Dスキャナー

高解像度3Dスキャナー / 高速・高精度に木材、織物、大理石、石材の3Dデータを取得~

独自のレーザーライン光によりスペックルノイズを防ぎCCDアレイ検知器にて各ピクセルの3Dデータを高速で取得します。  

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高周波計測器 RF計測器

高周波計測器 RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能

Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。

・電圧
・電流
・フェーズ
・ハーモニクス
・インピーダンス
・イオンフラックス
・Waveform reconstruction

・1%の精度で測定が可能。
・1μsの時間分解能で測定が可能
・単周波数のみでなく、複数の周波数が測定可能(Ocye Poly Octiv Suite)
・イオンフラックスが測定可能 (Octiv Suite)

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ラングミュアプローブ

ラングミュアプローブ / プラズマを、正確に測定できる画期的な測定器です。

以下のパラメータが測定可能です。

浮遊電位
プラズマ電位
プラズマ密度
イオン電流密度
電子温度
電子エネルギー分布関数


測定機能
①時間平均測定
②時間分解測定
③タイムトレンド測定

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プラズマクリーナー

プラズマクリーナー / ~真空チャンバーと試料を同時にクリーニング致します。

電子顕微鏡や真空チャンバーの試料観察にて、コンタミを確実に除去致します。

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