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ラングミュアプローブ / プラズマを、正確に測定できる画期的な測定器です。

ラングミュアプローブ
製造:Impedans [アイルランド]
Impedans

以下のパラメータが測定可能です。

浮遊電位
プラズマ電位
プラズマ密度
イオン電流密度
電子温度
電子エネルギー分布関数


測定機能
①時間平均測定
②時間分解測定
③タイムトレンド測定

メーカーサイト カタログ(PDF)

特長

・12.5nsのステップ時間分解能で測定ができます。(2015年3月現在、世界最速 ※当社調査による)

・自動リニアドライブシステムにより0.025mmのステップ分解能にてプローブをプラズマへ移動でき、空間分布が分析できます。

・デポジションガスに効果的な自動プローブ先端クリーニング機構付。プローブ先端の取替えも容易。

・プローブは、様々なサイズに、カスタムが可能です。

・一つのシステムで、ダブルプローブ、シングルプローブが使用可能です。

自動リニアドライブ

自動リニアドライブ

自動リニアドライブシステムにより0.025mmのステップ分解能にてプローブをプラズマへ移動でき、空間分布が分析できます。

シングルプローブ、ダブルプローブを簡単に使い分けが可能

シングルプローブ、ダブルプローブを使用環境に応じて、簡単に、使い分けることが可能です。


電子密度と電子エネルギーの空間分布

電子エネルギーと電子密度の時間分解能データ

シングルプローブの電流電圧特性

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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