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結晶Si系太陽電池製造関連

多結晶シリコンインゴット製造装置のほか同インゴットの形状測定装置・ライフタイムテスターをご紹介致します。

多結晶シリコン溶解炉

多結晶シリコン溶解炉

真空冶金装置の総合メーカーである独ALD Vacuum Technologies GmbH 社は、ソーラーグレードのシリコンを溶解・再結晶化し、多結晶インゴット状にする装置を製造販売しており、既に数多くの運転実績を有しています。

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シリコンブロック内不純物検査装置・ブロック形状測定装置

シリコンブロック内不純物検査装置・ブロック形状測定装置

独Intego社のシリコンブロック検査装置は、多結晶シリコンブロック内のSiN, SiCなどの不純物検査やクラックの検出を行う装置です。同筐体で、ブロックの形状測定機能を追加することも可能です。

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シリコンインゴット ライフタイムテスター

シリコンインゴット ライフタイムテスター

ロシアTelecom社のシリコンインゴットのライフタイムテスターは非破壊、非接触測定方式で全世界に多数の納入実績があります。

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ウェットエッチング装置

ウェットエッチング装置

米国Wafab International社の半導体、太陽電池向けのウェットエッチング(テクスチャリング)装置です。全世界で1,000台以上の納入実績があり、R&D向け手動装置から生産ライン用完全自動装置まで、ご要望に応じたフレキシブルな対応が可能です。

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エアゾール式電子材料プリント装置

エアゾール式電子材料プリント装置

M3Dエアゾールジェット技術は通常のインクジェットやスクリーン印刷と比較して
マスクやレジストを使用せず、微細のプリントを低温で行うことができます。
高速スプレーによるプリント方式なので、基材との距離を5mmまで離すことが
できます。

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インクジェット装置

インクジェット装置 / "Tri - JET"シリーズ

産業用インクジェットとは、インクジェット技術を産業用分野に応用し、従来の版やマスクを使用したアナログ的方法(スクリーン印刷など)で行っていた印刷やパターニングなどをインクジェット方式で代替してコスト削減や環境負荷低減を実現しようというものです。

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イオンエネルギー測定器

イオンエネルギー測定器

真空下でのエッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- ネガティブイオン
- 温度
- バイアス電圧

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フラッシュランプアニーリング装置

フラッシュランプアニーリング装置 / FLA

独DTF社のフラッシュランプアニーリング装置は、コンパクトで使い勝手がよく、各種アプリケーションの研究開発に最適です。

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太陽電池ウェハ・セル 非接触マイクロクラック検査装置

太陽電池ウェハ・セル 非接触マイクロクラック検査装置 / ANTARES

ドイツIntego社が製造する太陽電池ウェハ・セル用の非接触マイクロクラック検出装置。従来の測定器では難しかった結晶粒界とマイクロクラックの識別が可能。R&D用のスタンドアローン装置から、コンベア上に検査部を統合したインラインタイプをラインアップ。

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