製品の特長

• ・ シリコンインゴット内の不純物の位置を検知することで、事前にスライスに有効な場所を特定することが出来ます。
  ・ 測定結果は、パソコン画面に表示され、不純物の正確な位置を把握することが可能、データの3次元化（オプション）も可能です。
  ・ 不純物検査結果をシリコンブロック結晶化工程にフィードバックすることにより、プロセスの改善に寄与します。
  ・ インゴット検査は、数分／1インゴットです。