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シリコンブロック内不純物検査装置・ブロック形状測定装置

シリコンブロック内不純物検査装置・ブロック形状測定装置
製造:Intego Vision Systems[ドイツ]

独Intego社のシリコンブロック検査装置は、多結晶シリコンブロック内のSiN, SiCなどの不純物検査やクラックの検出を行う装置です。同筐体で、ブロックの形状測定機能を追加することも可能です。

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特長

・ シリコンインゴット内の不純物の位置を検知することで、事前にスライスに有効な場所を特定することが出来ます。
・ 測定結果は、パソコン画面に表示され、不純物の正確な位置を把握することが可能、データの3次元化(オプション)も可能です。
・ 不純物検査結果をシリコンブロック結晶化工程にフィードバックすることにより、プロセスの改善に寄与します。
・ インゴット検査は、数分/1インゴットです。

適用

・ シリコンブロックのスライス前の検査
・ シリコン結晶化プロセスへのフィードバック
・ インゴットの形状測定 

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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