薄膜系太陽電池製造関連

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a-SiやCIGS太陽電池製造用の各種スパッター装置・蒸着装置（ロールコーターを含む）のほか、ロータリーカソードをご紹介致します。

ラトビアSidrabe社は真空成膜装置のメーカーでユニークなプロセス技術を伴った装置を製造致しております。多肢にわたるアプリケーション装置を提案致します。

独FHR社の太陽電池量産用大面積スパッタ装置を提案いたします。

韓国SNU社の第5世代向け有機層及びアルミ電極層の蒸着装置を提案いたします。

韓国SNU社の薄膜封止装置を提案致します。新しいコンセプトを用いた本装置を使用することで、高ガスバリア性が得られ、薄く、フレキシブルなデバイスを製造することが可能となります。

米国SCI社の優れた操作性・メンテナンス性のロータリーカソードドライブユニットを提案致します。

フィンランドBeneq社の原子堆積装置を提案致します。
3Dを始め、様々な形状の基板に均一でピンホールフリーの耐腐食膜、ガスバリア膜、ゲート酸化膜など機能性薄膜を成膜することができます。

米国Wafab International社の半導体、太陽電池向けのウェットエッチング（テクスチャリング）装置です。全世界で1,000台以上の納入実績があり、R&D向け手動装置から生産ライン用完全自動装置まで、ご要望に応じたフレキシブルな対応が可能です。

M3Dエアゾールジェット技術は通常のインクジェットやスクリーン印刷と比較して
マスクやレジストを使用せず、微細のプリントを低温で行うことができます。
高速スプレーによるプリント方式なので、基材との距離を5mmまで離すことが
できます。

産業用インクジェットとは、インクジェット技術を産業用分野に応用し、従来の版やマスクを使用したアナログ的方法（スクリーン印刷など）で行っていた印刷やパターニングなどをインクジェット方式で代替してコスト削減や環境負荷低減を実現しようというものです。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- イオンカレント
- エレクトロンフラックスとエネルギー

韓国Korea Laser Tech社が製造する各種レーザー加工装置です。OLED、液晶ディスプレイ、モバイル用タッチパネルスクリーンの加工用途で多くの生産装置納入実績がございます。ご要望に応じたフレキシブルな装置提案が可能です。

独DTF社のフラッシュランプアニーリング装置は、コンパクトで使い勝手がよく、各種アプリケーションの研究開発に最適です。

米Denton Vacuum社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。

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