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薄膜系太陽電池製造関連

a-SiやCIGS太陽電池製造用の各種スパッター装置・蒸着装置(ロールコーターを含む)のほか、ロータリーカソードをご紹介致します。

ガラスコーター・ウェブコーター

ガラスコーター・ウェブコーター

ラトビアSidrabe社は真空成膜装置のメーカーでユニークなプロセス技術を伴った装置を製造致しております。多肢にわたるアプリケーション装置を提案致します。

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第5世代向け有機層蒸着装置

第5世代向け有機層蒸着装置

韓国SNU社の第5世代向け有機層及びアルミ電極層の蒸着装置を提案いたします。

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薄膜封止装置

薄膜封止装置

韓国SNU社の薄膜封止装置を提案致します。新しいコンセプトを用いた本装置を使用することで、高ガスバリア性が得られ、薄く、フレキシブルなデバイスを製造することが可能となります。

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原子層堆積装置(ALD装置)

原子層堆積装置(ALD装置) / 開発機から量産機まで対応致します。

フィンランドBeneq社の原子堆積装置を提案致します。
3Dを始め、様々な形状の基板に均一でピンホールフリーの耐腐食膜、ガスバリア膜、ゲート酸化膜など機能性薄膜を成膜することができます。

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ウェットエッチング装置

ウェットエッチング装置

米国Wafab International社の半導体、太陽電池向けのウェットエッチング(テクスチャリング)装置です。全世界で1,000台以上の納入実績があり、R&D向け手動装置から生産ライン用完全自動装置まで、ご要望に応じたフレキシブルな対応が可能です。

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エアゾール式電子材料プリント装置

エアゾール式電子材料プリント装置

M3Dエアゾールジェット技術は通常のインクジェットやスクリーン印刷と比較して
マスクやレジストを使用せず、微細のプリントを低温で行うことができます。
高速スプレーによるプリント方式なので、基材との距離を5mmまで離すことが
できます。

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インクジェット装置

インクジェット装置 / "Tri - JET"シリーズ

産業用インクジェットとは、インクジェット技術を産業用分野に応用し、従来の版やマスクを使用したアナログ的方法(スクリーン印刷など)で行っていた印刷やパターニングなどをインクジェット方式で代替してコスト削減や環境負荷低減を実現しようというものです。

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イオンエネルギー測定器

イオンエネルギー測定器

真空下でのエッチングやスパッタ、成膜プロセス中のイオンエネルギーの測定ができます。検出プローブは電極/基板ホルダーに取付け可能なので、実プロセスと同条件でプラズマの最適化が行えます。各種のバイアス条件(フローティング、DC、パルスDC、RF)下で測定ができます。

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- ネガティブイオン
- 温度
- バイアス電圧

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レーザー加工装置

レーザー加工装置

韓国Korea Laser Tech社が製造する各種レーザー加工装置です。OLED、液晶ディスプレイ、モバイル用タッチパネルスクリーンの加工用途で多くの生産装置納入実績がございます。ご要望に応じたフレキシブルな装置提案が可能です。

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フラッシュランプアニーリング装置

フラッシュランプアニーリング装置 / FLA

独DTF社のフラッシュランプアニーリング装置は、コンパクトで使い勝手がよく、各種アプリケーションの研究開発に最適です。

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デスクトップ型の小型スパッタリング装置

デスクトップ型の小型スパッタリング装置 / デスクトッププロ

米Denton Vacuum社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。

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RtoR 原子層堆積装置(ALD装置) 

RtoR 原子層堆積装置(ALD装置) 

Beneq社RtoR原子層堆積装置(ALD装置)は、フレキシブルエレクトロニクスの高い要求レベルに対応する高ガスバリア性を低コスト、単層膜で達成することが可能です。

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光学用原子層堆積装置  (プラズマALD装置)

光学用原子層堆積装置  (プラズマALD装置) / 従来のALDの4倍~10倍生産性の高いプラズマALDをご提案致します。

従来のALD装置では不可能であったプラズマを使用したバッチ式ロータリーALD装置の開発に成功致しました。従来のALD装置より4倍~10倍のハイスループットを達成致しました。

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大面積用原子層堆積装置  (ALD装置)

大面積用原子層堆積装置  (ALD装置) / 従来のALDの常識を覆す驚異的なスループットをご提案致します。

世界初のシートtoシート ALD装置の開発を致しました。大面積基板をシートからシートへ連続して移動させることにより、従来のALDの常識を完全に覆す驚異的なスループットを達成した革新的なALD装置です。

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