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イオンエネルギー・イオンフラックス測定ツール
| 製造：Impedans［アイルランド］ |
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プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- イオンカレント
- エレクトロンフラックスとエネルギー
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特長
・検出プローブは電極/基板ホルダーに取付けできます。
・300 ミリトール以内の圧力下で、500 eV までのエネルギーの測定が可能です。
・500 kHz までのパルスシステムの時間分解測定を44 ns のステップ分解能で検出できます。
・検出プローブはポータブル式で、複数の チャンバーへ容易に取付けができます。
・各種のバイアス条件で測定ができます。(シングル、デュアル、マルチの周波数)
- フローティング
- DC
- パルスDC
- RF
適用
・プラズマプロセスの開発
・プラズマプロセスの診断
・エッチング、CVDの開発ツール
・マグネトロンスパッタリングやHiPIMSの薄膜成膜プロセスの開発
Octiv(VIプローブ)
ALP(ラングミュラープローブ)
| お問合せ先 | 精密機器部門 |
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