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薄膜関連計測装置

非接触式抵抗測定装置をご紹介致します。

非接触表面抵抗測定器

非接触表面抵抗測定器

独Nagy社の非接触表面抵抗測定器を提案致します。
基板上に成膜された導電膜の抵抗値を非接触、オンラインで測定します。

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イオンエネルギー・イオンフラックス測定ツール

イオンエネルギー・イオンフラックス測定ツール

プラズマ放電中のプロセス内で以下の測定が可能です。
- イオンエネルギー分布
- イオンフラックス
- イオンカレント
- エレクトロンフラックスとエネルギー

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