スパッタリングターゲット

製造：Process Materials, Inc.［米国］

高品質で低価格のプレーナ型・同筒型ターゲット各種を提案致します。

太陽電池用:AZO, GZO, ZnO, Mo, Al, Ag, Cr, Si等
FPD用:ITO, Nb 等
その他:TiOx, Sn, Ti, Zn, ZnAl, SiAl, NiCr等

特長

シリンドリカルターゲットを得意とする。

太陽電池、FPD、建築用ガラス、光学フィルム等の機能性膜形成

円筒形、平板形、ディスク形、提供可能

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