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クリスタル/コールドカソードコンビネーションゲージ

クリスタル/コールドカソードコンビネーションゲージ
製造:東京電子株式会社[日本]

CC-10は最新のセンサー技術を取り入れ、クリスタルゲージとコールドカソードゲージの組み合わせによる12桁の圧力範囲(1.0×10-7 ~1.0×105 [Pa])の連続測定を可能とした真空計です。

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特長

 ・大気圧から高真空まで測定可能
  大気圧から低真空領域はクリスタルゲージにて、高真空領域はコールドカソードゲージにて測定。(自動切換え)
 ・デジタル通信 RS485を標準装備
 ・センサー回路部、ディスプレー一体型
  本製品のみで圧力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。

仕様

型番 CC-10
測定範囲 1.0×10-7 ~1.0×105 [Pa]
センサー クリスタルゲージ/コールドカソードゲージ 
表示 7セグメントLED
アナログ出力 DC 0~10[V] log出力または複合出力から選択
セットポイント 3点(1点独立、2点はコモン共通) 接点容量;DC50V、0.12[A]
ディジタルインターフェイス RS485 
フランジ NW25、またはICF70 
電源電圧 DC22~26[V] 
動作時周囲温度 0~50[℃]
ベーキング温度 MAX 100℃(回路部を取り外すこと)
外形寸法 94(W)×70.8(D)×135.5(H)[mm](NW25)94(W)×70.8(D)×158.5(H)[mm](ICF70) 突起部は除く
重量 840[g] (NW25) 1060[g] (ICF70)
オプション CC-10専用表示器、アダプタセット1(AC100[V]からCC-10本体への電源供給用)、アダプタセット2(AC100[V]からCC-10本体、専用表示器への電源供給用)
お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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