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除害装置

除害装置
製造:株式会社荏原製作所[日本]

半導体製造時に排出される有害ガスの無害化装置です。大量生産に最適な燃焼式処理装置から研究用途のトラップ式乾式除害装置まで豊富なラインアップ。

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特長

高い安全設計、腐食、反応副生成物対策
高いメンテナンス性能:前面アクセス
他 ご使用目的に応じて製品をご紹介いたしますのでお問い合わせください。

適用

半導体製造、FPD製造用真空プロセス装置
1)LP-CVD,PE-CVD,ALD装置等 燃焼除害装置
2)エッチング、アッシング装置等 F固定排ガス処理装置、燃焼除害装置
3)イオン注入装置、研究用途他 乾式除害装置

F固定式排ガス処理装置

除害装置除害装置

除害装置 G5カタログ(PDF 387.63 KB)PDF

除害装置 G5カタログ(PDF 324.99 KB)PDF

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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