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機能水製造装置
| 製造：株式会社荏原製作所［日本］ |
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半導体、液晶製造プロセスで要求されるクリーンな機能水（脱気水、水素水、炭酸水、窒素水、オゾン水等）の製造装置です。ご指定により単独又は各機種の組み合わせが可能です。
オゾン水製造装置は個別のご紹介頁をご参照ください。
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特長
荏原ノンパーティクルポンプの採用により不純物の発生を極力無くしており、半導体液晶業界で要求されるクリーンレベルに対応します。
仕様
| 炭酸水製造装置性能 | ||
| モデル名 | 性能 | |
| 比抵抗率（MΩ･cm） | 流量（L/min） | |
| 高濃度モデル | 0.05～0.10 | 5～50 |
| 低濃度モデル | 0.10～0.25 | 5～50 |
| 広範囲濃度モデル | 0.05～0.25 | 5～50 |
※上記以外の仕様及び炭酸水以外の機能水製造装置仕様に関しては別途お問合せ下さい。
| お問合せ先 | 精密機器部門 |
|---|---|
| 東京本社 TEL：03-5472-1728 FAX：03-5472-1720 大阪支社 TEL：06-6372-4444 FAX：06-6375-0434 九州営業所 TEL：092-292-5491 FAX：092-292-5495 |
