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純水、薬液ヒータ
半導体の製造に使用される各種薬液の昇温設備、機器です。
薬液ヒータ
半導体、液晶業界のプロセスに欠かせない薬液用ヒーターです。接液部は全てPFAの為不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。縦置き型、横置き型が選択可能で各種ヒーター容量を取り揃えております。
オゾン水製造装置 OZWシリーズ
荏原のオゾン水製造装置はテフロン製溶解膜、クリーンかつ高濃度オゾナイザ発生器及びノンパーティクルポンプを組み合わせることにより、次世代ウェットプロセス対応のクリーンオゾン水を連続供給できる装置です。オゾン水は機能水の一つですが多目的用途に注目されています。
ノンパーティクルポンプ NDCシリーズ
NDCシリーズはウルトラクリーンが要求される半導体プロセスに最適な超純水及び薬液の移送・ 加圧用小形マグネットポンプです。動圧軸受の採用により機械的接触が一切なく、ポンプ内からのパーティクル発生を微少に抑えます。
ピュアウォータージェットポンプ PJシリーズ
PJシリーズは超純水による枚葉式ウェーハジェット洗浄を対象とした高圧プランジャポンプです。ポンプ内面 に電解研磨を施す事より、表面が清浄に保たれます。また、簡潔な構造により、超純水に触れる部分をできるだけ少なくするとともに、シール部から発生するパーティクルがジェット水に混入しないように工夫されています。
ベローズシリンダポンプ
シグマテクノロジー社製ベローズシリンダポンプは新構造のエア駆動機構を採用し、低脈動・低振動を実現しました。接液部は総テフロンですので、強酸・強アルカリなどの薬液移送に優れています。また、薬液温度は180度まで対応可能です。半導体の洗浄・薬液移送等への応用が期待できます。
