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超純水ヒータ

超純水ヒータ
製造:株式会社セラ[日本]

半導体製造プロセス向け超純水ヒーターです。接液部は全てPFAの為不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。高熱効率、純水最高温度95℃が特徴です。

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特長

◆接液部は全てPFAの為、不純物の溶出やパーティクルの発生がありません。
◆発熱体含む構成部品は長寿命。
◆運転温度及び圧力は95℃ × 0.4Mpa

仕様

型式 EHS
ヒーター容量 25~150Kw
純水温度 MAX 95℃
温度制御 PID制御
温調制度 ±1℃(定流量時)
使用圧力 MAX 0.4MPa
主要材質 接液部/PFA  その他要部SUS304
保護及び警報 水温異常加熱 発熱体過熱 漏水 フロー検知 空炊き
お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
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