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各種真空成膜装置・ロールコーター

ラボ用の汎用装置から量産装置まで様々なご要求に応じたスパッター装置・蒸着装置をご紹介致します。

複合型アークイオンプレーティング装置

複合型アークイオンプレーティング装置

韓国ISYS社製のスパッタ、HCD、アークイオンの三ソースをひとつのチャンバー内に搭載した複合型イオンプレーティング装置を提案致します。

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圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置

圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置

AMS社スパッタ装置(圧電膜・誘電体膜・メタル用スパッタ装置)は、AlN膜、Mo膜をメインに、その他多くの膜の成膜において高い面内均一性を達成。ストレス制御も可能。構成は、クラスタ装置で、基本構成で最大6チャンバー(プレクリーニング、カセットモジュール含)の統合が可能。

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ラボ用多目的成膜装置

ラボ用多目的成膜装置 / 大学・研究所用小型電子ビーム蒸着装置・小型スパッタ装置

韓国SNTEK社製のラボ用多目的成膜装置を低価格にて提案致します。 

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ガラスコーター・ウェブコーター

ガラスコーター・ウェブコーター

ラトビアSidrabe社は真空成膜装置のメーカーでユニークなプロセス技術を伴った装置を製造致しております。多肢にわたるアプリケーション装置を提案致します。

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インクジェット装置

インクジェット装置 / "Tri - JET"シリーズ

産業用インクジェットとは、インクジェット技術を産業用分野に応用し、従来の版やマスクを使用したアナログ的方法(スクリーン印刷など)で行っていた印刷やパターニングなどをインクジェット方式で代替してコスト削減や環境負荷低減を実現しようというものです。

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デスクトップ型の小型スパッタリング装置

デスクトップ型の小型スパッタリング装置 / デスクトッププロ

米Denton Vacuum社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。

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R&D用スパッタリング装置

R&D用スパッタリング装置 / マグネトロンスパッタリングシステム

韓国のSNTEK社製R&D用スパッタ装置は企業、大学の研究所向けの装置で、韓国国内で多数の納入実績があります。

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リチウム真空成膜装置

リチウム真空成膜装置 / 真空リチウムコーター

ラトビアSidrabe社は、ソ連邦真空局からスタートし歴史ある真空装置メーカで、軍事用、宇宙工学用から民生用まで幅広いノウハウを有し、すでに260台以上の真空成膜装置を出荷しております。その中でも、リチウム真空成膜装置は10年以上の経験を持ち、ご要望に応じた装置をご提案致します。

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超精密電子ビーム真空蒸着装置

超精密電子ビーム真空蒸着装置

韓国SNTEK社の超精密電子ビーム真空蒸着システムは、バッチ式の生産設備で精密線幅を要求するPower IC、 LEDデバイス、 MEMSなどの薄膜蒸着及びリフトオフ工程に使用します。

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大型基板専用 ガラス洗浄装置

大型基板専用 ガラス洗浄装置 / Billco社はガラス製造に関する、多種多様な装置を提供している企業です。

Billco社は、ガラス基板専用の洗浄、乾燥装置を提案致します。通常タイプの装置以外にも、ガラスを垂直にして洗浄する装置、小~中型ガラス基板専用の装置等、各種揃えております。

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高精度3Dスキャナー

高精度3Dスキャナー / 5000DPIの超高解像度で3Dデータが取得できます。

5000dpiの超高解像度で3D情報及び色を高精度に高速でスキャン致します。
カラーと3D形状を別々にスキャンし、完全にマッチングさせる独自のパテント技術により、高精度なデータが取得可能です。

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高解像度3Dスキャナー

高解像度3Dスキャナー / 高速・高精度に木材、織物、大理石、石材の3Dデータを取得~

独自のレーザーライン光によりスペックルノイズを防ぎCCDアレイ検知器にて各ピクセルの3Dデータを高速で取得します。  

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抗菌コーティング用成膜装置

抗菌コーティング用成膜装置 / C20S

抗菌コーティング用成膜装置です。
絶縁膜であるポリパラキシレンに特化した成膜装置です。

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