製品情報

Home > 製品情報 > 業界別検索 > その他 > 各種真空成膜装置・ロールコーター > R&D用スパッタリング装置

R&D用スパッタリング装置 / マグネトロンスパッタリングシステム

R&D用スパッタリング装置
製造:SNTEK Co., LTD[韓国]

韓国のSNTEK社製R&D用スパッタ装置は企業、大学の研究所向けの装置で、韓国国内で多数の納入実績があります。

   

特長

・ 最適化されたスパッタカソード設計で同時スパッタリングが可能
・ 金属及び非金属の同時成膜を実現
・ カソードシミュレーションにより、ターゲットの高い使用効率の実現
・ 大面積基板に優れた膜均一性の形成
・ シンプルな設計で、メンテナンスコストと時間の削減
 (リモート制御により、機器の管理と迅速な対応を実現)
・ 長年のノウハウをベースにした、カスタマイズされた機器の製作とプロセスのサポート
・ R&D機器の専任の顧客サポートチームの構成で顧客の要求に迅速な対応を実現
・ 使用上の安全と利便性を考慮したインターロックの構築

適用

R&D、大学の研究所

仕様

ご要望に応じたカスタマイズにより決定させていただきます。

お問合せ先 情報精密機器部門
  TEL:03-5472-1721 FAX:03-5472-1720
お問い合わせはこちら

ページトップへ

製品情報